Reference distance（mm）

20

60

155

150

220

280

570

Mesurement

Z-axis（height）（mm）

±2.3

（F.S.=4.6）

±6.1

（F.S.=12.2）

±15

（F.S.=30）

±14

（F.S.=28）

±21

（F.S.=42）

±30

（F.S.=60）

±85

（F.S.=170）

X-axis（width）（mm）

Near side

19

39

74

85

116

129

225

Reference distance

20

40

78

90

120

140

250

Far side

20

40

78

90

120

140

250

Sampling frequency

Full frame

1000 Fps

ROI

Up to 4000 Fps

Profile data count^*1

3840 items

Linearity

Z-axis（height）^*2

±0.1% F.S.

Repeatability^*3

Z-axis（height）（um）

0.4

0.6

3

3

4

7

20

Resolution

Z-axis（height）（um）

0.16

0.43

0.9

0.9

1.3

2

5.5

Profile point interval

X-axis（width）（um）

5.2

10.5

20.5

23.5

31.5

36.5

66

Light source

Type

Blue semiconductor laser

Red semiconductor laser

Wavelength

405 nm

650 nm

Data interface

Gigabit Ethernet

Temperature characteristics^*5

0.01% F.S./℃

Environmental resistance

Enclosure rating

IP67

Ambient temperature

0 to +50°C

Operating ambient humidity

20 to 85%（No condensation）

Vibration risistance

10 to 57 Hz, 1.5mm 0.06” double amplitude   in X, Y and Z directions，2   hours respectively

Impact resistance

15G / 6msec

Input voltage

+24 VDC ± 10%

Material

Aluminum

Weight

≈800g

≈950g

≈950g

≈1200g

≈1300g

≈1200g

≈1300g

Size（mm）

165.5×105.5

×50

179×100

×57

193×105

×57

254.5×110.5

×57

284.5×110.5

×57

255×110

×57

284×105

×57